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光電產品制造過程中VOCs的排放

返回列表 瀏覽:- 發(fā)布日期:2019-05-14 14:04:14【

今天小編繼續(xù)為您介紹在光電產品制造行業(yè)中,產生廢氣污染的主要有五類產品的制造過程:半導體集成電路、TFT-LCD、LED、印制電路板(PCB)、電子終端產品。這幾個也是我們廢氣處理經(jīng)常面對的。

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①半導體集成電路制造過程中VOCs的排放半導體制造工藝中VOCs主要來源于光刻、顯影工序,在這些工序中要用有機溶液(如異丙醇)對晶片表面進行清洗,其揮發(fā)產生的廢氣是有機廢氣的來源之一。同時,在光刻過程中使用的光阻劑(光刻膠)中含盡有易揮發(fā)的有機溶劑,如乙酸丁酯等,在晶片處理過程中產生的有機廢氣也要揮發(fā)到大術氣中。
   ②TFT-LCD制造過程中VOCs的排放包括檢査和測試在內,TFT-LCD的制造生產制工藝可達到100多道工序,生產過程中使用多種化學有機溶劑和特殊氣體,產生的VOCc多量大,組分復雜。TFT液晶面板生產排放VOCs污染物的工序主要集中在陣列工程和彩膜時工程兩大部分。陣列工程中的光刻(涂膠、曝光和顯影),以及彩膜工程中的黑色矩BM膜制造、彩色矩陣膜形成(紅、綠、藍,RGB)、保護膜生成、MVA膜、PS( Photo Spacer)膜生成是產生VOCs的主要產少量VOCs。TFT-LCD的制造過程中產生的VOCs主要是以異丙醇為主,其次依序是丙酮、單甲基醚丙二醇、單甲基醚丙二醇乙酸酯,這四種成分占了全部VOCs量的90%以上。

③LED電子組件制造過程中VOCs的排放LED電子組件生產產生的VOCs污染物主要來源于基片處理和光刻,LED生產過程中產生VOCs的種類主要有三氯乙烯、丙二醇醚酯、異丙醇、丙酮、丁酮等。

④印制電路板(PCB)制造過程中VOCs的排放在單面、雙面和多面印制電路板制作工藝中,產生的VOCs工藝環(huán)節(jié)相對較集中,主要來源于貼膜、烘干、江、印刷等工子,VOCs排放種類主要有甲醛、醇類(乙醇、異丙醇、丁醇、丙醇)、酮類(丁酮)、酯類劑的貯存過程中也會有部分乙酸乙VOCs產生和排放。

⑤電子終端產品制造過程中VOCs的排放在電子終端產品制造中,VOCs的主要來源包括電路板清洗劑有機廢氣(使用有機溶劑型清洗劑)、電路板三防噴漆廢氣、機売(機箱)噴漆廢氣、機殼注塑廢氣。這些廢氣均來自工位上的局部排風系統(tǒng),特點是排風量大、濃度低。

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昆山源和環(huán)保科技有限公司是華東地區(qū)專業(yè)的廢氣處理制造企業(yè),公司致力于工業(yè)空氣污染治理服務,為客戶提供設計-設備制造-安裝-售后服務一條龍服務。主導產品廢氣(NOX、SO2酸、堿、VOC、PECVD硅烷等廢氣)處理設備、集塵設備靜電油煙機、濃縮轉輪、ROT(儲熱式熱力焚化爐)、NMP回收裝置, FRP、PP風機、風管配制(FRP、PP、PVC、鐵件)等環(huán)保相關產品。產品廣泛應用于太陽能、PCB、橡膠、半導體、電子、電鍍、化工、計算機、機械、衛(wèi)浴、涂料、樹脂、鑄造、DOP、VOC廢氣,拋光打磨等行業(yè)。

 

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